보고서 설명

NT(Nano Technology)의 연구가 증가하면서 자연스럽게 미세구조물 또는 재료의 표면 형상에 대한 정보가 요구되고 있는 것이 현재의 추세이다. 이러한 요구를 충족시키기 위하여 전자현미경이 계발 되었다.

본문일부 및 목차

① 전자총에 전압을 인가하면 필라멘트에서 전자가 방출되며, 일련의 전자다발은
양극에 인가된 전기장에 의하여 시료를 향해 가속된다.
② 전자다발 중에서 aperture(전자, 빛, 전파 그 밖의 방사가 그 곳을 통하여 주어지
는 개구부분 - 네이버 지식사전 -)의 홀을 통과한 것들은 자기장을 이용한 자기
렌즈에 의해서 집속되고 파장이 일정한 전자빔을 형성한다.
③ 이 전자빔이 다시 자기장을 이용한 대물렌즈에 의해서 시편에 초점을 형성한다.
이 때 수차가 발생할 경우 stigmator(컬럼의 오염이나 전자기장 또는 광학계의
미세한 결함에 의해 spot의 형태가 왜곡될 수 있으며, 그 결과 초점이 맞지 않게
되어 해상도를 떨어뜨리게 된다. 이를 보정하는 코일을 비점수차 보정 코일 -
네이버 지식iN -)에 의해 조정할 수 있다.
④ 시편에 입사되는 전자들과 시편 내에 포함된 원자 및 전자들이 상호작용하여 이
차전자, 후방산란전자 등이 방출되며, 적절한 검출기를 통해 이들을 포집하여 디
지털 신호로 변환 시킨다.
⑤ 디지털 신호로 획득된 신호는 컴퓨터에서 적절한 알고리즘에 의해 재해석한 후
영상으로 모니터에 출력 또는 저장된다.

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