보고서 설명

1. SEM 장비의 원리를 이해한다.
2. 기판 위에 얹은 Co 박막을 SEM 장비를 통해 분석한다.
3. Co 박막의 위상학적 정보를 수집하며, 이를 분석하여 Co 박막의 자기적, 결정학적 성질을 발견한다

본문일부 및 목차

• 진공계(Vacuum system)
- vacuum 내의 공기를 빼내는 것

• 전자 광학계(Electrical Optical System)
- 전자빔의 경로 조절하고 전자총부위를 관찰 할 수 있음

• 전자총(Elecrton Gun)
- Tungsten filament cathode : 약 2700K 가열되어 열전자 방출
- LaB6 filament cathode : LaB6 과 같은 희토류산화물 높은 열전자 방출
- Field emission cathode :필라멘트 표면에 고압의 전위차를 걸어주어 전자를 방출

• 집광 렌즈(Condenser lenses)
- 2nm 이하 크기의 spot 을 형성(작을 수록 분해능 증가)
- 렌즈에 고정된 조리개를 통하여 spot size를 줄이거나 수차 조절

• 대물 렌즈(Object lenses)
- Deflection coil : scan generator 연결되어 표면에 형성된 spot 을 체계적으로 이동
- Stigmator : CRT 화소 (pixel)는 둥근데 반해 2차전자빔은 둥글지 않다.
이 때 비점수차 발생. Stimators를 이용하여 교정

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#Scanning Electron Microscopy

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