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공학,기술계열

반도체 공정의 전반적인 이해

반도체공정.hwp

등록인CPIA_jykim

등록/수정일07.05.50 / 09.12.29

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보고서 설명

반도체 웨이퍼 회로설계 / ()

본문일부 및 목차

◎ 반도체 공정의 전반적인 이해
◎ 웨이퍼 제조 및 회로설계
◎ 웨이퍼 가공(FABRICATION)
◎ 조립 및 검사

※세부공정도
◎ Wafer 공정
◎ Device 공정
◎ 반도체 공정의 전반적인 이해

반도체 집적회로는 손톱만큼이나 작고 얇은 실리콘 칩에 지나지 않지만 그 안에는 수만 개에서 천만개 이상의 전자부품들(트랜지스터, 다이오드, 저항, 캐패시터)이 가득 들어있다. 이러한 전자부품들이 서로 정확하게 연결도어 논리게이트와 기억소자 역할을 하게되는 것이다.
칩 속의 작은 부품들은 하나하나 따로 만들어서 조립되는 것이 아니다. 그것은 불가능하다. 대신 부품과 그 접속부분들을 모두 미세하고 복잡한 패턴(문양)으로 만들어서 여러 층의 재료 속에 그려 넣는 방식을 사용한다. 그러기 위해서는 문양을 사진으로 찍어 축소한 마스크를 마치 사진인화 할 때의 필름처럼 사용한다.

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